第一九五章 一錘定音
在半導(dǎo)體行業(yè)中,檢測(cè)儀器和制造設(shè)備同樣,至關(guān)重要。
沒有高精度的檢測(cè)設(shè)備,你就無法精確測(cè)量晶體結(jié)構(gòu)的空間尺寸,也無法精確測(cè)量溝槽的漏電量到底有多少。
在這上面,德州儀器算是幫了華芯科技的大忙,這也為BSIM項(xiàng)目組提供了準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)來源。
FinFET技術(shù)在目前的制造工藝還看不出有多大的優(yōu)勢(shì),因?yàn)橹瞥痰脑?,現(xiàn)在的溝槽漏電量可以忽略不計(jì)。
但到了32納米制造工...