97 450mm晶圓片的價(jià)格

　　對(duì)于拉晶爐，首先……要對(duì)副室進(jìn)行充氣，這里沖的是氬氣，氬氣是惰性氣體，很難參加反應(yīng)。

　　拍出副室里邊的空氣，然后對(duì)于其他的地方清理干凈，比如副室爐筒、小副室、爐筒等等。

　　工人穿戴好防護(hù)服把坩堝裝入石墨鍋里邊，進(jìn)行裝料，也就是多晶硅，進(jìn)行封閉之后，進(jìn)行抽空作業(yè)，隨后沖氬氣，這樣反復(fù)幾次，帶走爐內(nèi)的其他氣體以及濕度。

　　緩慢加熱，使得多晶硅均勻受熱，使得多晶硅完全融化掉之...