第六十三章 前沿

　　“波長在200納米至350納米的光線被稱為深紫外線，目前大多數(shù)的研究，多是圍繞著深紫外線開展！對于更短波長的紫外線利用，目前還沒有明確穩(wěn)定技術(shù)！”

　　光刻機以光為刃，扮演的角色就好比拍照時的相機。它通過使用光線把設(shè)計好的電路圖案精準地“拍”到硅片上。極紫外光，由于波長極短，所以能刻畫出更小的芯片特征尺寸，因而成了制造7納米及以下先進制程芯片。

　　深紫外線在光刻分辨率上的性能，...